室温においてパルスレーザ蒸着により堆積した酸化インジウムすず薄膜の特性に及ぼすレーザ照射の影響

文献

J-GLOBAL ID：200902153789226191 整理番号：02A0790588

Effect of laser irradiation on the properties of indium tin oxide films deposited at room temperature by pulsed laser deposition.

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巻： 67 号： 2 ページ： 209-216 発行年： 2002年09月13日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

パルスレーザ蒸着によりSiO₂ガラス上...

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酸化物薄膜 , 半導体結晶の電気伝導

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