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J-GLOBAL ID：200902154085504630   整理番号：00A0309051

Preparation and characterization of some alumosiloxanes as single-source MOCVD precursors for aluminosilicate coatings.

著者 (6件)： ZEMSKOVA S M (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  HAYNES J A (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  BESMANN T M (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  HUNT R D (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  BEACH D B (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  GOLOVLEV V N (Oak Ridge National Lab., TN, USA)
資料名： Journal de Physique. 4. Proceedings  (Journal de Physique. 4. Proceedings)
巻： 10  号： Pr2  ページ： PR2.35-PR2.42  発行年： 2000年02月 
JST資料番号： A0743C  ISSN： 1155-4339  資料種別： 会議録 (C)
発行国： フランス (FRA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： MOCVD