直流反応性マグネトロンスパッタZnO膜の物理的性質に及ぼす基板温度の効果

文献

J-GLOBAL ID：200902154251365414 整理番号：00A0123506

Effect of substrate temperature on the physical properties of DC reactive magnetron sputtered ZnO films

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巻： 13 号： 2 ページ： 239-247 発行年： 1999年11月
JST資料番号： W0468A ISSN： 0925-3467 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

直流反応性マグネトロンスパッタにより,標記の酸化亜鉛膜を作製...

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半導体薄膜 , 光物性一般 , 半導体結晶の電気伝導

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