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J-GLOBAL ID：200902154387578225   整理番号：01A0106012

マイクロキャピラリの製造方法とその機械強度評価

著者 (3件)： 橋口原 (香川大) ,  青柳誠司 (関西大) ,  藤田博之 (東大)
資料名： 日本機械学会材料力学部門講演会講演論文集  (日本機械学会M&M材料力学カンファレンス講演論文集)
巻： 2000  ページ： 409-410  発行年： 2000年10月05日 
JST資料番号： L0191A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体マイクロマシーニングを利用して,リザーバーを一体化した...

シソーラス用語： *薄肉管 ,...
準シソーラス用語： マイクロキャピラリ

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロ ,  キャピラリ ,  製造方法 ,  機械強度 ,  評価