散乱光の非偏光成分を用いる三次元プロフィル測定のための光学的非接触センサの開発

文献

J-GLOBAL ID：200902154438160638 整理番号：97A0242984

Development of optical noncontact sensor for measurement of three-dimensional profiles using depolarized components of scattered light.

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巻： 36 号： 1 ページ： 227-234 発行年： 1997年01月
JST資料番号： B0577B ISSN： 0091-3286 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

三次元表面を有する物体のプロフィルを測定するために,低解像度...

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光学的測定とその装置一般 , 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器

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