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J-GLOBAL ID:200902154516778708   整理番号:00A0718084

マグネトロン駆動用ZCS-PFM直列共振形DC-DCコンバータの一検討

A Consideration on ZCS-PFM Controlled Series-Resonant DC-DC Converter for High Power Magnetron Drive.
著者 (4件):
資料名:
巻: SPC-00  号: 37-53  ページ: 67-74  発行年: 2000年06月30日 
JST資料番号: Z0921A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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半導体製造装置などに用いるパワーマイクロ波を発生する高出力マ...
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分類 (1件):
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電力変換器 
引用文献 (5件):
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