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J-GLOBAL ID：200902154621733256   整理番号：99A0944134

二重平坦化Nb/AlO_x/Nbプロセスを用いて150mm径ウエハ上に作製した低T_c超伝導回路

Low T_c Superconductive Circuits Fabricated on 150-mm-Diameter Wafers Using a Doubly Planarized Nb/AlO_x/Nb Process.

著者 (4件)： BERGGREN K K (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA) ,  MACEDO E M (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA) ,  FELD D A (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA) ,  SAGE J P (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
資料名： IEEE Transactions on Applied Superconductivity  (IEEE Transactions on Applied Superconductivity)
巻： 9  号： 2,Pt.3  ページ： 3271-3274  発行年： 1999年06月 
JST資料番号： W0177A  ISSN： 1051-8223  CODEN： ITASE9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超伝導エレクトロニクス用二重平坦化全耐熱性技術(DPARTS...

シソーラス用語： *Josephson接合 ,...

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分類 (1件)： Josephson接合・素子  (BM04043E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 平坦化 ,  Nb ,  プロセス ,  ウエハ ,  作製 ,  Tc ,  超伝導回路