高周波プラズマによる高速プラズマ重合の新しいリモート技術

THEIRICH D; NINGEL K P; ENGEMANN J

文献

J-GLOBAL ID：200902154834586842 整理番号：97A0131741

高周波プラズマによる高速プラズマ重合の新しいリモート技術

A novel remote technique for high rate plasma polymerization with radio frequency plasmas.

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資料名：
巻： 86/87 号： 1/3 Pt 2 ページ： 628-633 発行年： 1996年12月15日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

リモートプラズマ重合は基板への熱的負担が軽い高速蒸着法のひと...

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放射線重合

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