表面波励起平面プラズマにおける発光及びマイクロ波電場強度の測定

文献

J-GLOBAL ID：200902154985750040 整理番号：96A0402545

Optical Emission and Microwave Field Intensity Measurements in Surface Wave-Excited Planar Plasma.

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巻： 35 号： 3A ページ： L341-L344 発行年： 1996年03月01日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

スロットアンテナ型ランチャを用い140Paのアルゴン中で2...

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プラズマ生成・加熱 , 気体放電

引用文献 (17件)：

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