シリコン用ゾル-ゲルTiO<sub>2</sub>反射防止膜の作製と特性評価

文献

J-GLOBAL ID：200902155127225074 整理番号：01A0687215

シリコン用ゾル-ゲルTiO₂反射防止膜の作製と特性評価

Preparation and characterization of sol-gel TiO₂ antireflective coatings for silicon.

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巻： 391 号： 1 ページ： 133-137 発行年： 2001年07月02日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

ゾル-ゲル高分子TiO₂膜を浸漬塗装法...

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酸化物薄膜 , 無機化合物の可視・紫外スペクトル

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