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J-GLOBAL ID：200902156066459740   整理番号：02A0276796

反応現像パターニングに基づいた感光性ポリアリレート

Photosensitive Polyarylates Based on Reaction Development Patterning.

著者 (5件)： OYAMA T (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  KITAMURA A (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  FUKUSHIMA T (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  IIJIMA T (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN) ,  TOMOI M (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
資料名： Macromolecular Rapid Communications  (Macromolecular Rapid Communications)
巻： 23  号： 2  ページ： 104-108  発行年： 2002年01月31日 
JST資料番号： D0314B  ISSN： 1022-1336  CODEN： MRCOE3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光増感剤のジアゾナフトキノン化合物を含有するポリアリレートの...

シソーラス用語： 水 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子の分解,劣化  (CG03010A)

物質索引 (3件)： エタノールアミン ,  1-メチル-2-ピロリジノン ,  5-オキソ-6-ジアゾ-5,6-ジヒドロナフタレン-1-スルホン酸4-メチルフェニル

タイトルに関連する用語 (4件)： 現像 ,  パターニング ,  感光性 ,  ポリアリレート