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J-GLOBAL ID：200902156499295547   整理番号：95A0193863

大面積対称平行面放電炉内での非晶質シリコンのRFプラズマ蒸着と粉末生成の診断およびモデル化

Diagnostics and modelling of RF plasma deposition of amorphous silicon and powder formation in large area symmetric parallel-plate reactors.
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著者 (2件)：
PERRIN J

PERRIN J について

(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)

Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA について

, 
SCHMITT J

SCHMITT J について

(SOLEMS S.A., Palaiseau, FRA)

SOLEMS S.A., Palaiseau, FRA について


資料名：
Photovoltaic Solar Energy Conference  (Photovoltaic Solar Energy Conference)

Photovoltaic Solar Energy Conference について


巻： 11th  ページ： 80-83  発行年： 1993年 
JST資料番号： E0383B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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大面積平行面無線周波数(RF)放電炉内でa-Si:H膜をガラ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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太陽電池

太陽電池 について

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分類 (1件)：
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太陽電池 
(NC03084O)

太陽電池 について

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RFプラズマ

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蒸着

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粉末

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