VENTZEK P L G について
Hokkaido Univ., Sapporo, JPN について
YAMADA N について
Hokkaido Univ., Sapporo, JPN について
Hokkaido Univ., Sapporo, JPN について
TAGASHIRA H について
Hokkaido Univ., Sapporo, JPN について
KITAMORI K について
Hokkaido Inst. Technol., Sapporo, JPN について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
プラズマエッチング について
固体デバイス製造技術一般 について
プラズマ応用 について
エッチング について
応用 について
誘導結合プラズマ について
リアルタイム制御 について
シミュレーション について