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J-GLOBAL ID：200902157061126544   整理番号：97A0178706

r.f.スパッタ法により作製した(ZnO)₅In₂O₃薄膜の熱電特性

Thermoelectric Properties of (ZnO)₅In₂O₃ Thin Films Prepared by r.f. Sputtering Method.

著者 (4件)： HIRAMATSU H (Nagoya Univ., Nagoya) ,  OHTA H (Nagoya Univ., Nagoya) ,  SEO W-S (Nagoya Univ., Nagoya) ,  KOUMOTO K (Nagoya Univ., Nagoya)
資料名： 粉体および粉末冶金  (Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy)
巻： 44  号： 1  ページ： 44-49  発行年： 1997年01月 
JST資料番号： F0691A  ISSN： 0532-8799  CODEN： FOFUA2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なった結晶軸方位を持つ標題薄膜をrfスパッタ法により作製し...

シソーラス用語： *熱起電力 ,...
準シソーラス用語： Seebeck効果

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

引用文献 (14件)：

• 1) C. Wood and D. Emin, Mat. Res. Soc. Symp. Proc, 24 (1984) 199.
• 2) R. Simon, J. Appl. Phys, 33 (1962) 1830.
• 3) M. Stordeur and W. Kuhnberger, phys. stat. sol. (b) 69 (1975) 377.
• 4) D. M. Rowe and C. M. Bhandari, in Proceedings of the 6th International Conference Thermoelectric Energy Conversion, the University of Texas at Arlington, 14th-16th Marcl; (1986) 43.
• 5) T. A. Christakudi, G. CH. Christakudis, and L. D. Borisova, phys. stat. sol. (a), 114 (1989) K201.

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ法 ,  作製 ,  ZnO ,  薄膜 ,  熱電特性