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J-GLOBAL ID：200902157326160839   整理番号：02A0504899

窒化アルミニウム薄膜を用いた箔状フレキシブル圧力センサ

A Foil Type Flexible Pressure Sensor Using Nitelide Aluminum Thin Film.

著者 (4件)： 上野直広 (産業技術総合研) ,  秋山守人 (産業技術総合研) ,  池田喜一 (産業技術総合研) ,  立山博 (産業技術総合研)
資料名： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 38  号： 5  ページ： 427-432  発行年： 2002年05月31日 
JST資料番号： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フレキシブルな基板として市販のアルミ箔を採用し,その表面にス...

シソーラス用語： *圧力センサ ,...

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分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (15件)：

• LURNEISKY, V. Sensitive Skin. 2000
• 関. 高柔軟性をもつ把持圧分布センサの開発. 計測自動制御学会論文集. 1995, 31, 9, 1528-1530
• 八木俊治. 圧電素子分布触覚センサ. 日本ロボット学会誌. 1991, 7, 7, 906-907
• RESTON, R. R. Robotic tactile sensor array fabricated from a piezoelectric polyvinylidene fluoride film. Proceedings of the IEEE 1990 National Aerospace and Electronics Conference. 1990, 3, 1139-1144
• SETIADI, D. A comparative study of integrated ferroelectric polymer pyroelectric sensors. Itegrated Ferroelectrics. 1998, 19, 1, 33-47

タイトルに関連する用語 (4件)： 窒化アルミニウム ,  薄膜 ,  箔 ,  圧力センサ