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J-GLOBAL ID：200902157361391002   整理番号：98A0550197

ArFエキシマレーザ誘起化学修飾法を使用したふっ化炭素樹脂表面での銅の領域選択核生成

Area-selective nucleation of copper on fluorocarbon-resin surface using ArF excimer laser-induced chemical modification.

著者 (2件)： OKOSHI M (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  MURAHARA M (Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 72  号： 20  ページ： 2616-2618  発行年： 1998年05月18日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ArFエキシマレーザ照射及び硫酸銅水溶液を使用した標記核生成...

シソーラス用語： *銅 ,...

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分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  光化学反応  (CB08020F)

タイトルに関連する用語 (6件)： ArFエキシマレーザ ,  誘起 ,  化学修飾法 ,  ふっ化炭素樹脂 ,  銅 ,  核生成