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J-GLOBAL ID：200902157546981930   整理番号：93A0797537

超精密鏡面加工に対応した電解インプロセスドレッシング(ELID)研削法

Electrolytic In-Process Dressing (ELID) Grinding Technique for Ultraprecision Mirror Surface Machining.

著者 (1件)： 大森整 (理研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 59  号： 9  ページ： 1451-1457  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 機能材料の精密研削技術は年々改善されて来たが,摩耗する砥石で...

シソーラス用語： 研削盤 ,...

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分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (5件)：

• 1) 大森 整, 中川威雄 : 鋳鉄ボンドダイヤモンド砥石によるシリコンの研削加工 (第3報), 昭和62年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (1987) 687.
• 2) 高橋一郎, 大森 整, 中川威雄 : 硬脆材料の高能率研削加工, 昭和63年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, (1988) 401.
• 3) H. Ohmori and T. Nakagawa : Mirror Surface Grind ing of Silicon Wafers with Electrolytic In-process Dressing, Ann. CIRP, 39, 1, (1990) 329.
• 4) H. Ohmori, I. Takahashi and T. Nakagawa : Mirror Surface Grinding by Metal Bonded Super-abrasive Wheel with Electrolytic In-process Dressing, Progress in Prec. Eng. (IPES 6/UME 2), (1991) 152.
• 5) H. Ohmori and T. Nakagawa : Electrolytic In-process Dressing (ELID) for Mirror Surface Grinding, Proc. 10th Int. Symp. for Electro-machining, (1992) 553.

タイトルに関連する用語 (5件)： 超精密 ,  鏡面 ,  電解インプロセスドレッシング ,  ELID ,  研削