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J-GLOBAL ID：200902157562885437   整理番号：97A0074219

光造形法を用いた微小立体構造物の製作に関する研究 (第1報) 樹脂の硬化形状のシミュレーションと検討

Research on production of solid microstructure using laser beam lithography. (First report). Simulation and examination of hardened resin morphology.

著者 (5件)： 庄浩司 (近畿大) ,  大坪義一 (近畿大) ,  山本昌彦 (近畿大) ,  田所諭 (神戸大) ,  高森年 (神戸大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1996  号： Spring 3  ページ： 1121-1122  発行年： 1996年03月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

引用文献 (4件)：

• IKUTA, Kouji. THREE DIMENTIONAL MICRO INTEGRATED FLUID SYSTEMS (MIFS) FABRICATED BY STEREO LITHOGRAPHY. Proc. of IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop. 1994, 1-6
• 単学伝. 光造形法を応用したセラミック微小構造体の製法 (第1報). 精密工学会誌. 1995, 61, 3
• YAMAGUCHI, Katsumi. Consideration on the Accuracy of Fabricating Microstructures Using UV Laser Induced Polymerization. IEEE 5TH International Symposium on Micro Machine and Human Science Proc. 1994, 171-176
• 応用物理学会日本光学会. 微小光学ハンドブック. 1995

タイトルに関連する用語 (7件)： 光造形 ,  微小 ,  立体構造 ,  製作 ,  研究 ,  硬化 ,  シミュレーション