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J-GLOBAL ID：200902158021049713   整理番号：98A0566717

プラズマ化学気相成長法による燃料電池用固体電解質薄膜の特性

Properties of MSZ Thin Films for SOFC Grown by PECVD.

著者 (5件)： 長田昭義 (大阪工大 工) ,  望月則孝 (大阪工大 工) ,  辰知明 (大阪工大 工) ,  岡山英夫 (大阪工大 工) ,  伊佐弘 (大阪工大 工)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 41  号： 3  ページ： 186-189  発行年： 1998年03月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マグネシア安定化ジルコニア薄膜を,ECRプラズマにカスプ磁界...

シソーラス用語： *酸化ジルコニウム ,...
準シソーラス用語： 固体燃料電池

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  燃料電池  (YB04040V)

引用文献 (5件)：

• 燃料電池発電システム編集委員会編. 燃料電池発電システム
• 岡山. 電気学会論文誌A. 1966, 116-A, 4, 380-381
• 望月. 平成9年電気学会全国大会講演論文集. 1997, 2-260
• 岡山. 真空. 1997, 40, 8, 660-663
• 岡山. 電気学会プラズマ研究会資料. 1996, EP-96-17

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ化学気相成長法 ,  燃料電池 ,  固体電解質 ,  薄膜