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J-GLOBAL ID：200902158169949241 整理番号：02A0941349

非晶質Si₃N₄/ナノ結晶TiNナノ構造多層の熱応力硬化

Thermal stress hardening of a-Si₃N₄/nc-TiN nanostructured multilayers.

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資料名：
巻： 81 号： 22 ページ： 4139-4141 発行年： 2002年11月25日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

rf反応性マグネトロンスパッタリングで標記ナノ構造多層を形成...

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その他の無機化合物の薄膜 , 固体の機械的性質一般

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