文献
J-GLOBAL ID：200902158206794962
整理番号：93A0517811
マイクロマシニングによる静電型リニアアクチュエータの開発 (第2報) 有限要素法による電界計算に基づくシミュレーション
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著者 (4件)：
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資料名：
巻：
1993
号：
Spring 2
ページ：
735-736
発行年：
1993年03月
JST資料番号：
Y0914A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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