MEMS型マイクロポンプ  展望

NGUYEN N-T; HUANG X; CHUAN T K

文献

J-GLOBAL ID：200902158461708859 整理番号：02A0526043

MEMS型マイクロポンプ展望

MEMS-Micropumps: A Review.

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資料名：
巻： 124 号： 2 ページ： 384-392 発行年： 2002年06月
JST資料番号： C0997A ISSN： 0098-2202 CODEN： JFEGA4 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

マイクロ流体素子は重要な研究分野であり有望な市場としてMEM...

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ポンプ,各種揚水装置

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