シリコンの中に作成したマイクロ放電デバイス

FRAME J W; WHEELER D J; DETEMPLE T A; EDEN J G

文献

J-GLOBAL ID：200902158696578952 整理番号：97A0875175

シリコンの中に作成したマイクロ放電デバイス

Microdischarge devices fabricated in silicon.

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巻： 71 号： 9 ページ： 1165-1167 発行年： 1997年09月01日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

直径が200~400μmで深さが0.5~5mmの円筒状のマイ...

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気体放電 , 光源,照明器具

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