DUDNEY N J について
Oak Ridge National Lab., Tennessee について
BATES J B について
Oak Ridge National Lab., Tennessee について
ROBERTSON J D について
Univ. Kentucky, Kentucky について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
マグネトロンスパッタリング について
酸化物薄膜 について
Li2O について
ターゲット について
RFマグネトロンスパッタリング について