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J-GLOBAL ID:200902159709073134   整理番号:93A0175600

誘電体薄膜の厚さと誘電定数の決定

Thickness and dielectric constant determination of thin dielectric layers.
著者 (4件):
資料名:
巻: 95  号: 4/6  ページ: 183-188  発行年: 1993年01月15日 
JST資料番号: A0678B  ISSN: 0030-4018  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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金属表面上に存在する厚い誘電体層の上に堆積した誘電体薄膜の誘...
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分類 (2件):
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薄膜一般  ,  誘電体一般 
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