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J-GLOBAL ID：200902159712341190   整理番号：97A0486763

遮蔽アークイオンめっき法によるダイヤモンド状炭素膜の調製

Preparation of diamond-like carbon thin films by shielded arc ion plating.

著者 (3件)： TAKI Y (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KITAGAWA T (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TAKAI O (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Journal of Materials Science Letters  (Journal of Materials Science Letters)
巻： 16  号： 7  ページ： 553-556  発行年： 1997年04月01日 
JST資料番号： D0919B  ISSN： 0261-8028  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標的と基質間に挿入された遮蔽プレートを用いたアークイオンめっ...

シソーラス用語： 炭素 ,...
準シソーラス用語： 黒鉛 ,...

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分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 遮蔽 ,  アーク ,  イオンめっき法 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  調製