文献
J-GLOBAL ID:200902159791462038   整理番号:94A0154408

ショットキバリアサーミスタボロメータ用マイクロエアブリッジの形成法

Fabrication Method of a Micro-Air-Bridge for the Schottky Barrier Thermistor-Bolometer.
著者 (2件):
資料名:
巻: 54th  号:ページ: 358  発行年: 1993年09月 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)

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