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J-GLOBAL ID：200902159816101230   整理番号：98A0876595

ナノリソグラフィーのための炭素ナノチューブの利用

Exploiting the properties of carbon nanotubes for nanolithography.

著者 (3件)： DAI H (Stanford Univ., California) ,  FRANKLIN N (Stanford Univ., California) ,  HAN J (NASA Ames Res. Center, California)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 73  号： 11  ページ： 1508-1510  発行年： 1998年09月14日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 炭素ナノチューブをチップとした原子間力顕微鏡により,けい素表...

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (2件)： ナノリソグラフィー ,  炭素ナノチューブ