ガス・ケミカルイオンのウエハへの影響評価と汚染対策 (その6) 金属繊維フィルタの除去性能の解析

大北正信; 鈴木良延; 梶間智明; 西当修作

文献

J-GLOBAL ID：200902159835124941 整理番号：93A0705378

ガス・ケミカルイオンのウエハへの影響評価と汚染対策 (その6) 金属繊維フィルタの除去性能の解析

Contamination of Wafer by Gases and Chemical Ions and its Control Method. (No.6). Analysis of Removal Performance of Metal Fiber Filter for Gases and Mists.

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資料名：
巻： 12th ページ： 285-288 発行年： 1993年04月
JST資料番号： Y0789A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

金属繊維ろ材の除去性能に対する相対湿度の影響を明らかにすると...

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空気浄化

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