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J-GLOBAL ID:200902160517430586   整理番号:94A0420381

窒化アルミニウム基板の大規模生産:セラミックプロセシングにおける挑戦

Large scale production of AlN substrates: a challenge in ceramic processing.
著者 (3件):
資料名:
ページ: 931-936  発行年: 1993年 
JST資料番号: K19940362  ISBN: 84-87683-05-3  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: スペイン (ESP)  言語: 英語 (EN)
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AlNは熱伝導率が高く,熱膨張係数がけい素に類似するため基板...
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分類 (2件):
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セラミック・陶磁器の製造  ,  固体デバイス材料 
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