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J-GLOBAL ID：200902160522507597   整理番号：93A0697131

イオンビームアシスト成長により得られるβ-FeSi₂の表面形態とエピタクシー

Surface morphology and epitaxy of β-FeSi₂ obtained by ion beam assisted growth.

著者 (3件)： RAVESI S (Univ. Catania, Catania, ITA) ,  TERRASI A (Co.Ri.M.Me, Catania, ITA) ,  LA MANTIA A (SGS-Thomson Microelectronics, Catania, ITA)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 80/81  号： Pt 2  ページ： 1371-1375  発行年： 1993年06月 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温に保った〈100〉配向Si単結晶上にFeの蒸着と低エネル...

シソーラス用語： ケイ化物 ,...
準シソーラス用語： イオンビームアシスト蒸着

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分類 (2件)： 半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (3件)： 成長 ,  表面形態 ,  エピタクシー