イオントラックリソグラフィーによるXカット小型同調フォークの実現

THORNELL G; RAPP H; HJORT K

文献

J-GLOBAL ID：200902160929020773 整理番号：00A0243134

イオントラックリソグラフィーによるXカット小型同調フォークの実現

X-Cut Miniature Tuning Forks Realized by Ion Track Lithography.

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資料名：
巻： 47 号： 1 ページ： 8-15 発行年： 2000年01月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標記リソグラフィーを利用して,39kHzの水晶Xカット小型同...

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圧電デバイス

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