文献
J-GLOBAL ID：200902161347127758   整理番号：96A0624871

深いサブミクロンライン中のPtSi膜の電気的,構造的特性

Electrical and structural properties of PtSi films in deep submicron lines.
著者 (5件)：
XU D-X

XU D-X について

(National Res. Council, Ontario, CAN)

National Res. Council, Ontario, CAN について

, 
MCCAFFREY J P

MCCAFFREY J P について

(National Res. Council, Ontario, CAN)

National Res. Council, Ontario, CAN について

, 
DAS S R

DAS S R について

(National Res. Council, Ontario, CAN)

National Res. Council, Ontario, CAN について

, 
AERS G C

AERS G C について

(National Res. Council, Ontario, CAN)

National Res. Council, Ontario, CAN について

, 
ERICKSON L E

ERICKSON L E について

(National Res. Council, Ontario, CAN)

National Res. Council, Ontario, CAN について


資料名：
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

Applied Physics Letters について


巻： 68  号： 25  ページ： 3588-3590  発行年： 1996年06月17日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
深いサブミクロンライン中の一けい化白金(PtSi)の電気的特...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
ケイ素

ケイ素 について

,...
   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0624871&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=H0613A") }}
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
金属薄膜 
(BK14030T)

金属薄膜 について

,  半導体-金属接触 
(BM03084G)

半導体-金属接触 について

タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
構造的特性

構造的特性 について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM