パルスd.c.グロー放電CVDによるダイヤモンド圧膜の蒸着

文献

J-GLOBAL ID：200902161460105884 整理番号：96A0576125

Deposition of thick diamond films by pulsed d.c. glow discharge CVD.

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巻： 5 号： 6/8 ページ： 850-856 発行年： 1996年05月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

パルス直流グロー放電CVDにより多結晶ダイヤモンド厚膜(数1...

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炭素とその化合物

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