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J-GLOBAL ID：200902161698134564   整理番号：97A0186102

エキシマレーザによる単結晶シリコンの加工特性

Working characteristics of single crystal silicon by excimer laser.

著者 (3件)： 窪田真一郎 (岡山県工技セ) ,  横溝精一 (岡山県工技セ) ,  宇野義幸 (岡山大 工)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1995  号： Autumn 1  ページ： 343-344  発行年： 1995年09月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

引用文献 (1件)：

• 最新レーザ加工技術総覧. 393

タイトルに関連する用語 (3件)： エキシマレーザ ,  単結晶シリコン ,  加工特性