文献

J-GLOBAL ID：200902161779660406   整理番号：94A0131748

Model Studies of Chemical Vapor Deposition.

著者 (3件)： COLTRIN M E (Sandia National Lab., New Mexico) ,  BREILAND W G (Sandia National Lab., New Mexico) ,  HO P (Sandia National Lab., New Mexico)
資料名： Materials Technology  (Materials Technology)
巻： 8  号： 11/12  ページ： 250-253  発行年： 1993年11月 
JST資料番号： E0072B  ISSN： 1066-7857  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)