材料プロセスプラズマ及びガスの粒子モデル化のための電子・分子,イオン・分子,分子・分子及びCoulomb衝突の確率理論

NANBU K

文献

J-GLOBAL ID：200902161860957138 整理番号：01A0124132

材料プロセスプラズマ及びガスの粒子モデル化のための電子・分子,イオン・分子,分子・分子及びCoulomb衝突の確率理論

Probability Theory of Electron-Molecule, Ion-Molecule, Molecule-Molecule, and Coulomb Collisions for Particle Modeling of Materials Processing Plasmas and Gases.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 28 号： 3 ページ： 971-990 発行年： 2000年06月
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

最近のプラズマ利用材料プロセスにおいては,高プラズマ密度・低...

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原子衝突一般 , 分子衝突・相互作用一般

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