高周波マグネトロンスパッタリングにより作製した透明すず酸亜鉛導電性膜の性質

MINAMI T; TAKATA S; SATO H; SONOHARA H

文献

J-GLOBAL ID：200902162005302031 整理番号：95A0658438

高周波マグネトロンスパッタリングにより作製した透明すず酸亜鉛導電性膜の性質

Properties of transparent zinc-stannate conducting films prepared by radio frequency magnetron sputtering.

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資料名：
巻： 13 号： 3 Pt 1 ページ： 1095-1099 発行年： 1995年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高透明性と導電性のアモルファスすず酸亜鉛薄膜を標記方法でZn...

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酸化物薄膜 , 非晶質・液体半導体の電気伝導

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