単結晶シリコンの放電加工に関する基礎的研究

文献

J-GLOBAL ID：200902162047615609 整理番号：97A0939676

Fundamental Study on Electrical Discharge Machining of Single Crystalline Silicon.

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巻： 63 号： 10 ページ： 1459-1463 発行年： 1997年10月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

単結晶シリコンは脆性材料であるため,外力の作用する従来の機械...

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特殊加工

引用文献 (6件)：

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