文献
J-GLOBAL ID：200902162607688178   整理番号：95A0854424

Influence of acid generator structure on T-top formation in high temperature bake processes for environmental stabilization.

著者 (5件)：
ITO H

ITO H について

(IBM Almaden Res. Center, CA)

IBM Almaden Res. Center, CA について

, 
BREYTA G

BREYTA G について

(IBM Almaden Res. Center, CA)

IBM Almaden Res. Center, CA について

, 
HOFER D

HOFER D について

(IBM Almaden Res. Center, CA)

IBM Almaden Res. Center, CA について

, 
FISCHER T

FISCHER T について

(IBM Sindelfingen, DEU)

IBM Sindelfingen, DEU について

, 
PRIME B

PRIME B について

(IBM Storage Systems Div., CA)

IBM Storage Systems Div., CA について


資料名：
Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)

Proceedings of SPIE について


巻： 2438  ページ： 53-60  発行年： 1995年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM