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J-GLOBAL ID:200902162641833535   整理番号:98A0964606

二次イオン質量分析による有機薄膜の分析のためのSF5+多原子一次イオンビームの予備評価

Preliminary Evaluation of an SF5+ Polyatomic Primary Ion Beam for Analysis of Organic Thin Films by Secondary Ion Mass Spectrometry.
著者 (2件):
資料名:
巻: 12  号: 19  ページ: 1303-1312  発行年: 1998年 
JST資料番号: T0695A  ISSN: 0951-4198  CODEN: RCMSEF  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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標題のkeV一次イオンビームを,純生体分子の蒸発沈積薄膜,高...
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分類 (2件):
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質量スペクトル(分子)  ,  イオン放出 
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