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J-GLOBAL ID：200902163400902184   整理番号：00A0494957

多層ソフトリソグラフィーによってモノリシックに微細加工したバルブとポンプ

Monolithic Microfabricated Valves and Pumps by Multilayer Soft Lithography.

著者 (5件)： UNGER M A (California Inst. Technol., CA, USA) ,  CHOU H-P (California Inst. Technol., CA, USA) ,  THORSEN T (California Inst. Technol., CA, USA) ,  SCHERER A (California Inst. Technol., CA, USA) ,  QUAKE S R (California Inst. Technol., CA, USA)
資料名： Science  (Science)
巻： 288  号： 5463  ページ： 113-116  発行年： 2000年04月07日 
JST資料番号： E0078A  ISSN： 0036-8075  CODEN： SCIEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ソフトリソグラフィーの活用を拡張して,多層ソフトリソグラフィ...

シソーラス用語： ゴム ,...
準シソーラス用語： ソフトリソグラフィー

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分類 (2件)： 試料技術  (BA02070O) ,  医用素材  (GA05040H)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多層 ,  ソフトリソグラフィー ,  微細加工 ,  バルブ