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J-GLOBAL ID：200902163517629403   整理番号：96A1023786

フェニルカルビノールの酸触媒脱水素反応による負のレジスト 化学構造とレジスト感度の相関性

Negative Resists Using Acid-Catalyzed Dehydration of Phenylcarbinols: Correlation between Chemical Structure and Resist Sensitivity.

著者 (4件)： KOJIMA K (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN) ,  UCHINO S (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN) ,  ASAI N (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN) ,  UENO T (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
資料名： Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)
巻： 8  号： 10  ページ： 2433-2438  発行年： 1996年10月 
JST資料番号： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一連のフェニルカルビノールのレジスト特性を比較した。不溶化反...

シソーラス用語： 脱水素反応 ,...
準シソーラス用語： 橋架け ,...

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分類 (4件)： 均一系触媒反応  (CB06090Q) ,  酸化,還元  (CF02060T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子固体の物理的性質  (CG02024U)

物質索引 (12件)： ベンジルアルコール ,  α-メチルベンジルアルコール ,  α,α-ジメチルベンジルアルコール ,  m-キシリレングリコール ,  α,α′-ジエチルベンゼン-1,3-ジメタノール ,  α,α,α′,α′-テトラメチルベンゼン-1,3-ジメタノール ,  ベンゼン-1,4-ジメタノール ,  α,α′-ジメチルベンゼン-1,4-ジメタノール ,  α,α,α′,α′-テトラメチルベンゼン-1,4-ジメタノール ,  1,3,5-ベンゼントリスメタノール ,  α,α′,α′′-トリメチルベンゼン-1,3,5-トリメタノール ,  α,α,α′,α′,α′′,α′′-ヘキサメチルベンゼン-1,3,5-トリメタノール

タイトルに関連する用語 (7件)： フェニルカルビノール ,  酸触媒 ,  脱水素反応 ,  レジスト ,  化学構造 ,  感度 ,  相関性