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J-GLOBAL ID:200902163804927466   整理番号:94A0145907

表面および薄膜分析のための無機質量分析

Inorganic mass spectrometry for surface and thin film analysis.
著者 (1件):
資料名:
巻: 283  号:ページ: 131-138  発行年: 1993年11月15日 
JST資料番号: A0394A  ISSN: 0003-2670  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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スパッタ除去粒子の質量分析に関する基礎的事項についてまとめた...
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分類 (2件):
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質量分析  ,  固体の表面構造一般 
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