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J-GLOBAL ID:200902164028015407   整理番号:98A0473796

オンザマシン工具作製によるマイクロマシニングへのUSMの応用

Application of USM to Micromachining by On-the-machine Tool Fabrication.
著者 (4件):
資料名:
号:ページ: 31-36  発行年: 1997年01月 
JST資料番号: L3380A  ISSN: 1341-7908  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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大抵の加工法はガラス,セラミック,シリコンのように硬く脆い材...
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