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J-GLOBAL ID：200902164045944993   整理番号：99A0104300

オゾン灰化に対するガス添加の影響

Effect of Gas Addition on Ozone Ashing.

著者 (2件)： OMIYA K (Toshiba Corp., Yokohama, JPN) ,  KATAOKA Y (Toshiba Corp., Yokohama, JPN)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 145  号： 12  ページ： 4323-4327  発行年： 1998年12月 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 灰化速度を増し灰化温度を低下させる目的で,オゾン灰化にガスを...

シソーラス用語： *オゾン ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の無触媒反応  (CB06070U)

物質索引 (1件)： メタノール

タイトルに関連する用語 (2件)： オゾン ,  灰化