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J-GLOBAL ID:200902164106696475   整理番号:95A0379990

Si非晶質薄膜のPd誘起横方向結晶化

Pd induced lateral crystallization of amorphous Si thin films.
著者 (3件):
資料名:
巻: 66  号: 13  ページ: 1671-1673  発行年: 1995年03月27日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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アニーリング前の非晶質シリコン膜にPd層(約40Å)を選択的...
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分類 (1件):
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非晶質半導体の構造 

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