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J-GLOBAL ID：200902164152742643   整理番号：94A0139500

Investigations of artificial nanostructures and lithography techniques with a scanning probe microscope.

著者 (9件)：
GRIESINGER U A

GRIESINGER U A について

(Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)

Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU について

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KADEN C

KADEN C について

(Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)

Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU について

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LICHTENSTEIN N

LICHTENSTEIN N について

(Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)

Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU について

, 
HOMMEL J

HOMMEL J について

(Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)

Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU について

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SCHWEIZER H

SCHWEIZER H について

(Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)

Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU について

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HILLMER H

HILLMER H について

(Deutsche Bundespost Telekom Forschungszentrum am FTZ Postfach, Darmstadt, DEU)

Deutsche Bundespost Telekom Forschungszentrum am FTZ Postfach, Darmstadt, DEU について

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KOOPS H W P

KOOPS H W P について

(Deutsche Bundespost Telekom Forschungszentrum am FTZ Postfach, Darmstadt, DEU)

Deutsche Bundespost Telekom Forschungszentrum am FTZ Postfach, Darmstadt, DEU について

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KRETZ J

KRETZ J について

(Technische Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU)

Technische Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU について

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RUDOLPH M

RUDOLPH M について

(Technische Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU)

Technische Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 11  号： 6  ページ： 2441-2445  発行年： 1993年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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