ベクトル走査制御動的溝切りによる原子間力顕微鏡を用いたナノリソグラフィー

KLEHN B; KUNZE U

文献

J-GLOBAL ID：200902164458696211 整理番号：99A0483748

ベクトル走査制御動的溝切りによる原子間力顕微鏡を用いたナノリソグラフィー

Nanolithography with an atomic force microscope by means of vector-scan controlled dynamic plowing.

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巻： 85 号： 7 ページ： 3897-3903 発行年： 1999年04月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

原子間力顕微鏡によるナノリソグラフィー技術を示した。この技術...

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試料技術

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