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J-GLOBAL ID：200902164799234224   整理番号：00A0899549

薄膜の熱膨張係数について

On the thermal expansion coefficients of thin films.

著者 (2件)： FANG W (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  LO C-Y (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A84  号： 3  ページ： 310-314  発行年： 2000年09月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロマシン(MEMS)や超小形電子回路では熱膨張が重要な...

シソーラス用語： 超小形回路 ,...

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分類 (1件)： 金属のその他の熱的性質  (BL05030Y)

タイトルに関連する用語 (2件)： 薄膜 ,  熱膨張係数